机械工程学报

作者：赵立存, 王志远, 刘洋, 姜巍, 刘金娜

单位：1. 哈尔滨理工大学材料科学与化学工程学院 哈尔滨 150080;2. 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院 哈尔滨 150009

关键词：先进装备,磁控溅射,薄膜防护；

基金：国家自然科学基金(52405184)、中国博士后基金面上(2023M740943)和国家资助博士后研究人员计划(GZC20230637)资助项目。

随着科技的发展，先进装备表面防护问题日益突出，尤其针对高精尖零部件表面的防护技术研究更是困扰众多研究人员的关键科学问题之一。现如今众多技术进步都依赖于创造具有增强性能的新型复合材料，其中磁控溅射技术由于对材料表面适配性强，元素选择多样，对于各类先进装备表面防护薄膜制备提供一个新的控制维度。因此，为进一步总结先进装备内部高精尖零部件防护需求，致力于改善装备表面防护难题，综述了磁控溅射薄膜沉积技术的最新进展，一方面，针对磁控溅射薄膜沉积过程变化机理、形成机制进行综述，明确靶材溅射对基体材料的性能影响，进一步分析时空间维度上薄膜沉积的可靠性；另一方面，详细论述各类装备表面防护薄膜的应用特色及成形行为。最后，结合磁控溅射镀膜技术的工艺特性，对磁控溅射薄膜沉积过程中的通量特征进行深入分析，并探讨影响薄膜沉积状态的微观结构、表面特性等因素。综上，本文总结先进装备表面磁控溅射镀膜技术的应用机理，并从磁控溅射镀膜组织结构、力学性能、服役性能的角度出发，结合磁控溅射镀膜技术的典型应用，综述了磁控溅射镀膜技术的发展趋势，以及对应用前景的优势和存在问题进行总结，并对磁控溅射镀膜技术的未来先进薄膜体系进行评估和展望。

来源：2025年第10期

《机械工程学报》期刊编辑部

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