机械工程学报

作者：吴剑威, 王继尧, 郑健, 赵鹏越, 高席丰, 温众普

单位：1. 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 哈尔滨 150001;2. 超精密仪器技术及智能化工业和信息部重点实验室 哈尔滨 150080;3. 北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心 北京 100124

关键词：真空气体静压轴承,轴承密封,静态特性,结构优化,实验研究；

基金：国家重点研发计划(2022YFF0605104)、国家自然科学基金(52175499, 52105547)、中国博士后基金(2021M700995)、黑龙江省博士后基金(LBH-Z21063)和中国科协青年托举(2022QNRC001)资助项目。

随着气体静压润滑技术的不断发展及兼容真空工作环境的迫切需求，基于密封设计的真空气体静压轴承已成为近年来的研究热点之一。因其具有高动态、低摩擦、高精度和无污染等优势，在精密加工、检测等领域有着良好的应用前景。从真空气体润滑方式、结构优化及实验研究等三方面入手，详述了真空气体静压轴承的国内外研究现状。对比了真空气体静压轴承相较于传统气体轴承的优缺点，同时归纳了真空气体静压轴承的常规密封方法及高效抽排方式。在此基础上分析了真空气体静压轴承在设计中存在的支承特性、结构设计、加工工艺等关键技术问题，并对真空气体轴承未来发展趋势进行了初步展望，为真空气体静压轴承的设计提供相应依据。

来源：2025年第5期

《机械工程学报》期刊编辑部

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