机械工程学报

作者：王子鸣, 侯清健, 许立讲, 王越飞, 肖何, 陈妮, 李亮

单位：1. 南京电子技术研究所 南京 210039;2. 南京航空航天大学机电学院 南京 210016

关键词：氧化铝基板,激光加工,微铣削,复合加工；

基金：国家科技部创新方法工作专项“端端驱动、融合赋能”创新方法新系统研究与应用示范(2019IM020200);NSFC—河南联合基金重点项目子课题、上海市科技计划(20040501300)和工业和信息化部2017年“能制造综合标准化与新模式应用(2017ZNZX02)资助项目。

基于氧化铝共烧基板难加工问题，提出激光辅助微铣削的复合加工方法。研究了纳秒激光加工氧化铝共烧基板的形貌、尺寸以及残留变质层机械特性之后进行铣削试验。结果表明，紧密结合的氧化铝颗粒在激光的作形成疏松的变质层附在基体表面。槽的刻蚀深度随激光功率的增加和扫描速度、填充间距的减小分别在170～537 µm、167～493 µm和170～ 303 µm有着不同程度的增加，而刻蚀宽度在515～643 µm内变化。激光改性后基板残留变质层的整体硬度降低82%～96.2%，最小可达53.9 HV。与纯铣削相比，激光-微铣削后刀具使役性能提高，切削刃和刀具轮廓基本完整，且加工后表面粗糙度降低60%～65%，最小达0.204 μm。

来源：2024年第21期

《机械工程学报》期刊编辑部

查看机械工程学报杂志2024年第21期