机械工程学报

作者：伍春霞, 唐恒, 张仕伟, 孙亚隆, 伍晓宇, 汤勇

单位：1. 华南理工大学机械与汽车工程学院 广州 510640;2. 深圳大学机电与控制工程学院 深圳 518000

关键词：刻蚀加工,平板热管,沟槽吸液芯结构,微结构制造；

基金：国家自然科学基金(52235011,51905352,52105444)和深圳市优秀科技创新人才培养(RCBS20210609103819021)资助项目

平板热管因传热面积大、性能高、几何形状自适应性强等优点，在高热流密度电子器件散热领域得到广泛应用。电子器件的高性能、集成化、小型化发展促使平板热管趋向于超薄化，结构稳定、质量轻、尺寸小的沟槽吸液芯结构平板热管成为解决电子芯片在有限空间内散热难题的首选方案。传统的沟槽加工工艺成本较高、沟槽加工尺寸受限，而刻蚀技术具有加工效率高、可加工结构尺寸范围广等优势，逐渐成为平板热管沟槽吸液芯结构的主要加工方法。详细介绍平板热管的类型和应用，以及不同刻蚀加工工艺的特点，重点综述目前国内外关于平板热管沟槽吸液芯结构刻蚀制造的研究进展，分析讨论沟槽吸液芯结构在刻蚀制造过程中存在的问题，并进行科学预测与展望。

来源：2023年第24期

《机械工程学报》期刊编辑部

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