机械工程学报

作者：黄维维, 张鑫泉, 朱利民

单位：1. 上海交通大学智能制造与信息工程研究所 上海 200240;2. 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室 上海 200240

关键词：快速刀具伺服,精密运动控制,光学微结构表面,超精密车削加工,重复控制；

基金：国家重点研发计划(2022YFB3400102)和上海市“科技创新行动计划”高新技术领域(22511102105)资助项目。

快速刀具伺服(Fast tool servo，FTS)系统的跟踪性能直接影响其对光学微结构表面的加工精度和加工效率。为此提出基于重复控制的离线前馈补偿方法，该方法通过对跟踪误差进行分段在线学习和离线补偿，实现FTS系统对非周期参考轨迹的高速精密跟踪。在自制单轴FTS系统上进行对比跟踪测试，测试结果表明：相比于二自由度控制方法，提出的离线前馈补偿方法对随机均匀B样条曲线和复合频率正弦曲线的均方根跟踪误差分别减小94.47%和93.83%。此外，将该FTS系统与超精密车床联动在高转速下加工得到网格面和复眼透镜阵列，这两种表面的最大轮廓误差分别为93.59 nm和134.73 nm，表面粗糙度均小于5 nm。研究结果为基于FTS的光学微结构表面高效、高精加工提供了新方法和新思路。

来源：2023年第21期

《机械工程学报》期刊编辑部

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