机械工程学报

作者：贾琳华, 郑继辉, 张福民, 曲兴华

单位：天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室 天津 300072

关键词：光学频率梳,孤子光频梳,高精度距离测量,激光干涉测量,先进制造；

基金：国家重点研发计划(2022YFF0705701)和国家自然科学基金(52375546)资助项目。

精密测量技术是先进制造的重要支撑，其中精密激光测量技术在几何量测量特别是在线和高精度测量中应用最为广泛。针对先进制造更高的要求，新的激光测量技术不断发展，如基于光学频率梳的测距技术，其以宽光谱、窄脉宽、高频率稳定性的光频梳作为光源，通过相干探测可实现高精度和宽范围的绝对距离测量。同时，微纳制造工艺的提升以及光电子集成技术的发展，为进一步满足现场测量环境下高稳定性、仪器集成化和在线测量的需求提供了可能。围绕先进制造中高精度测距的需求，综述了光频梳测距方案的基本原理、性能指标与应用发展现状。首先，阐述了光学频率梳的基本特性和新型微腔孤子光频梳的相关研究；然后，详细介绍了光频梳频域、时域测距技术的测量原理和研究进展，包括色散干涉法、合成波长法、参考臂扫描法、重复频率扫描法和双光梳异步光学采样法等；最后，分析并比较了现有技术的发展进程及其优化方向，并对相关仪器化研制和现场应用进行了总结与展望。

来源：2023年第20期

《机械工程学报》期刊编辑部

查看机械工程学报杂志2023年第20期