机械工程学报

作者：苑伟政, 常洪龙, 谢建兵

单位：1. 西北工业大学机电学院 西安 710072;2. 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室 西安 710072

关键词：MEMS,集成设计,定制化制造,批量化制造；

芯片技术已成为制约我国高质量发展的瓶颈，基于微机电系统(MEMS)技术的高性能微传感器芯片更是备受欧美“卡脖子”的核心器件之一。“工欲善其事，必先利其器”，与微电子芯片类似，设计及制造技术也是制约MEMS芯片性能的关键。首先，从MEMS设计方法及工具出发，回顾MEMS设计方法从固定流程的结构化设计方法到任意流程的泛结构化设计方法的发展过程，介绍任意流程设计方法的优势，同时介绍目前世界上主流的商用MEMS设计工具并对比典型设计工具的优缺点。其次，介绍MEMS制造技术的特点及面临的挑战，着重分析国际上及几种典型的定制化制造技术以及西北工业大学提出的单掩膜与选择性释放制造方法。随后分析批量化制造技术的优势并给出了国内常见的批量化代工方法及典型批量化代工工艺。最后，指出高端MEMS设计与制造集成的必要性，以期为我国MEMS批量化制造发展提供参考。

来源：2023年第19期

《机械工程学报》期刊编辑部

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