机械工程学报

作者：兰红波, 李红珂, 钱垒, 张广明, 于志浩, 孙鹏, 许权, 赵佳伟, 王飞, 朱晓阳

单位：1. 青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心 青岛 266520;2. 香港理工大学工业与系统工程系 香港 999077

关键词：微纳尺度3D打印,电场驱动喷射沉积,微纳增材制造,先进电路,电子制造；

基金：国家自然科学基金(52175331)、山东省自然科学基金重大基础研究(ZR2020ZD04)和山东省高等学校青创科技支持计划(2020KJB003)资助项目。

微纳3D打印是近年出现的一种颠覆性新技术,经过10多年的迅猛发展,国内外学者已经提出10多种微纳3D打印工艺,但现有微纳3D打印大都面临打印材料和基材的普适性和兼容性差、大面积宏/微跨尺度结构制造困难、生产成本高,尤其是还存在成形效率(尺寸)和打印精度相矛盾的挑战性难题。经过近10年的研究与技术攻关,提出并建立了一种电场驱动喷射沉积微纳3D打印新技术,围绕该技术在基础理论、数值模拟、关键技术和装备、打印材料、实验研究和工艺优化、工程应用等方面开展了较为系统和深入研究。主要综述了电场驱动喷射沉积微纳3D打印基本原理和近年取得重要进展,尤其是系统介绍了该技术在先进电路和电子制造中的典型应用,旨在为先进电路和电子的制造提供了一种低成本、普适性好的具有工业化应用前景的全新解决方案。

来源：2023年第9期

《机械工程学报》期刊编辑部

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