机械工程学报

作者：陈恕彬, 王慧妍, 李应龙, 王瑞雪, 孔祥号, 夏章川

单位：1. 北京化工大学机电工程学院 北京 100029;2. 首都医科大学附属北京朝阳医院口腔科 北京 100020

关键词：等离子体,摩擦纳米发电机,绿色技术,等离子体刻蚀,质谱分析,物质检测；

基金：中央高校基本科研业务费专项资金（buctrc201906）和国家自然科学基金（51877205，52011530191，81901064）资助项目。

简要介绍了等离子体和摩擦纳米发电机（TENG）的相关概念、发展历程及分类，从绿色节能的角度出发阐述了两者相辅相成的发展现状。在此基础上，分别从等离子体对TENG摩擦材料的表面改性和TENG激励的等离子体两个方面展开综述。基于当前的研究进展和存在的关键问题，梳理了通过等离子体表面改性提升TENG输出性能的各类方法，并进一步阐述了等离子体刻蚀和离子注入\辐照的应用现状，对TENG所能激励的不同等离子体电极结构进行了综述，并对其在输出性能的优化、场发射和质谱分析、物质合成与环境应用等领域的应用进展进行了分析。最后，对等离子体和TENG的融合做出总结，阐述了两者现阶段协同发展存在的问题和未来的发展方向，对今后融合发展的、以应用为导向的研究工作提供一定的参考。

来源：2022年第21期

《机械工程学报》期刊编辑部

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