机械工程学报

作者：褚旭阳, 周可升, 庄伟煌, 周伟

单位：厦门大学机电工程系 厦门 361005

关键词：带状电极,电火花线切割加工,微通道；

基金：国家自然科学基金(51975496)、福建省对外合作(2021I0004)和厦门市青年创新基金(3502Z20206035)资助项目。

针对大厚度、高深宽比金属微通道结构加工的难题，提出一种带状电极电火花加工方法，利用厚度30～100 μm的带状电极，在金属基体上高效制造微通道结构。研究了带状电极电火花加工机理，建立了带状电极在加工间隙中的运动模型，分析了影响带状电极运动的主要因素，搭建了带状电极电火花加工装置，开展了微通道结构带状电极加工实验研究，获得了带状电极电火花加工基础工艺规律。利用带状电极电火花加工方法成功加工出的具有200条微通道的反应器结构和44×45微换热器阵列结构，表明带状电极电火花加工可以实现窄宽度(100 μm以下)、大厚度(35 mm以上)、高深宽比(10以上)和高精度(缝宽标准差3 μm以内)的大批量微通道结构的高效加工，相关方法和技术有望在微模具、微散热器、微反应器等领域获得推广和应用。

来源：2022年第19期

《机械工程学报》期刊编辑部

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