机械工程学报

作者：林路禅, 刘磊, 邹贵生, 李铸国

单位：1. 上海交通大学材料科学与工程学院 上海 200240;2. 清华大学机械工程系 北京 100084

关键词：结构纳米薄膜,微纳连接,表/界面结构,热稳定性,反应活性；

基金：国家重点研发计划资助项目（2017YFB1104900）。

随着结构系统及功能器件的小型化，微小空间下的异质材料高效集成互连成为了精密仪器系统设计与器件开发的迫切需求。为满足高质量、批量化以及绿色环保的微纳制造工艺要求，结合先进纳米薄膜制备工艺得到的非稳态或亚稳态的纳米尺度薄膜材料由于其特殊的尺度效应以及表/界面结构特征，在高精度异质材料互连领域正得到广泛的研究与应用。对不同体系（金属、半导体、氧化物）的结构纳米薄膜中各组元的反应活性或各相的热稳定性进行分析与阐述，并针对所设计的纳米薄膜结构在不同领域如航天、微电子中的异质材料互连中的应用进行综述。此外，由于纳米材料自身极高的反应活性，作为辅助钎料，其在硬质材料及热敏感材料的局域互连中也展现出巨大的应用前景。

来源：2022年第2期

《机械工程学报》期刊编辑部

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