机械工程学报

作者：张贺, 王尚, 冯佳运, 马竟轩, 胡轩溢, 冯艳, 田艳红

单位：1. 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨 150001;2. 哈尔滨工业大学教育部微系统与微结构制造技术重点实验室 哈尔滨 150001

关键词：纳米线连接,同质连接,异质连接,柔性电子,微纳器件；

基金：国家自然科学基金（51522503，52175300）和黑龙江省“头雁”团队经费资助项目。

微纳连接是电子产品制造、封装、组装及功能化过程中的关键技术。纳米线由于独特的光学、电学及热学等特性，在小型化、多功能化的微纳电子器件中的作用日趋显著。因此，关于纳米线互连技术的相关研究已成为学术界和产业界共同的关注热点。与宏观尺度的互连相比，纳米线材料之间的互连在尺寸、结构及要求都具有一定的特殊性，这也催生了各种各样纳米连接方法的诞生与发展。综述了目前金属/非金属纳米线同质、异质连接的研究进展，归纳了常见的纳米线互连方法，如热致连接、光辐照连接、电场辅助连接及高能粒子束连接等方法及互连机制，介绍了其在柔性电子和其他微纳器件封装领域中的应用，并探讨了金属/非金属纳米线连接技术目前存在的问题及发展趋势。

来源：2022年第2期

《机械工程学报》期刊编辑部

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