机械工程学报

作者：王联甫, 丁烨, 王根旺, 管延超, 王扬, 杨立军

单位：哈尔滨工业大学微系统与微结构制造教育部重点实验室 哈尔滨 150001

关键词：激光,微纳连接,纳米颗粒,纳米线,纳米薄膜,透明电极；

基金：国家重点研发计划（2017YFB1104900）、中国博士后科学基金（2020M670900）、黑龙江省博士后面上（LBH-Z20054）和新昌浙江工业大学科技术研究院自然开放基金（204001）资助项目。

随着航空、电子以及能源技术的发展，以低维度纳米材料为功能单元的复杂电子设备和系统趋向于柔性化和微型化，这一过程依赖于纳米材料间的高质量连接。微纳材料自身的尺寸及结构限制使得传统的热退火、机压成型、化学处理和电子束辐照等方法难以在构筑有效连接的同时避免非连接区域的损伤，而激光加工则由于其聚焦光斑尺寸小，单色性好和便于精确控制能量输入等优势得到广泛关注。为阐明激光在微纳连接领域的实际应用意义和潜在应用前景，首先分析超快激光和常规激光在微纳连接形成过程中与材料的瞬态作用机制，在此基础上详细综述了零维纳米颗粒、一维纳米线、二维纳米薄膜以及混合维度材料的激光连接策略，同时介绍了纳米材料连接后获得的网状结构在透明电极中的应用。最后，针对当前激光微纳连接技术存在的不足进行分析，并对今后的发展进行了展望。

来源：2022年第2期

《机械工程学报》期刊编辑部

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