机械工程学报

作者：王尚, 王凯枫, 张贺, 徐佳慧, 杨东升, 杭春进, 田艳红

单位：哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨 150001

关键词：超细引线键合,超声热压楔形键合,工艺优化,可靠性；

基金：装备预研领域基金资助项目（61409230705）。

作为有源相控阵雷达的关键组成部分，T/R （Transmitter and receiver）组件的尺寸与性能决定着装备的重量和功能。引线键合是T/R组件中常用的互连技术之一，随着组件集成度的提高势必也要开发相应的高密度引线键合技术，这使得键合线的尺寸越来越小，而超细的引线会使焊点力学性能降低，造成可靠性下降等问题。采用超声热压楔形键合的方法实现了的超细金丝与金焊盘的连接，并对工艺进行优化。结果表明，随键合压力、键合时间和超声功率的增大，键合后引线形变量逐渐增大，而键合后金丝的拉力先增加后减小，且工艺参数对金带形变量的影响小于金丝；由于第二焊点作用力过大会导致引线形变量较大、最大拉力小于第一焊点，需增加题焊点数量；最后，通过正交试验方法获得了金线和金带的最佳键合工艺参数，实现了超细尺寸引线的键合，对T/R组件的小型化具有重要意义。

来源：2021年第22期

《机械工程学报》期刊编辑部

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