机械工程学报

作者：胡腾江, 任炜, 赵玉龙

单位：1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049;2. 陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室 西安 710061

关键词：MEMS起爆器,爆炸箔,半导体硅桥,含能材料,多孔硅；

基金：中国博士后科学基金面上（2018M640977）和高校基本科研业务（xzy012019004）资助项目。

随着微纳技术的广泛应用，以MEMS技术为支撑的新一代起爆器成为含能器件领域的研究热点。MEMS起爆器可以实现大规模高密度的集成制造，并且器件输出性能一致性较好，具有微型化、集成化、高能化的特征。MEMS起爆器按结构不同，可以分为爆炸箔结构、半导体桥结构以及多孔硅结构三大类。爆炸箔起爆器主要采用电爆炸原理，结构简单，安全性能较高。半导体桥起爆器起爆电压低，应用领域广泛，可通过增加含能材料来提高器件的能量输出。多孔硅起爆器反应活性高，与由碳氢氮氧组成的传统含能药剂相比，多孔硅含能材料的环境友好性更好。通过分析与对比MEMS起爆器的结构组成、起爆方式、制作工艺以及输出能量等方面，指出MEMS起爆器结构微型化、输出高能化、起爆可控化的特征，并提出能够兼顾高能性与安全性的MEMS起爆系统为未来重要的发展方向。

来源：2021年第22期

《机械工程学报》期刊编辑部

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