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国内刊号：11-2187/TH
国际刊号：0577-6686
发布日期:
作者：黄琳雅, 赵立波, 罗国希, 李支康, 吴德志, 林启敬, 杨萍, 蒋庄德
单位：1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049;2. 教育部微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安 710049;3. 西安交通大学(烟台)智能传感技术与系统研究院 西安 710049;4. 西安交通大学机械工程学院 西安 710049;5. 厦门大学机电工程系 厦门 361005
关键词：流体黏度,测量方法,微机械电子系统,谐振；
基金：国家自然科学基金（51890884、51875449）、中央高校基本科研业务费（xpt012020004）和国家重大研究计划（2020YFB2009100）资助项目。
黏度作为流体特性的基本问题，在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据，为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求，近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法，基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景。微机械电子系统（Micro-electromechanical systems，MEMS）技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性，多样化黏度测量方法不断涌现，其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注，并显示了瞩目的检测性能。首先回顾传统的黏度测量方法，然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法，并分别总结了各自的特点。最后，对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望。
来源：2021年第8期
《机械工程学报》期刊编辑部
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