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国内刊号：11-2187/TH
国际刊号：0577-6686
发布日期:
作者：杨沁, 黄辉, 郑生龙
单位：华侨大学制造工程研究院 厦门 361021
关键词：多线摇摆往复切割,材料去除率,单位长度新线材料去除体积,切割质量；
基金：国家自然科学基金（51375179）、福建省高校产学研项目（2017H6014）、教育部创新团队（IRT_17R41）和华侨大学研究生科研创新基金（17013080041）资助项目。
多线摇摆往复式切割加工因其切割效率高和加工精度好的优点，现已逐渐成为硬脆材料晶圆的主要切割方式；分析了多线摇摆往复式切割加工中三个主要的运动方式，建立了多线摇摆往复式切割加工运动的理论模型，推导了线锯摇摆切割过程中的材料去除率（Q）和单位长度新线材料去除体积（R）的理论计算公式；理论分析了加工工艺参数对Q和R的影响规律；从加工运动学的角度提出了固定R的线锯切割新构想，并逆向推导了晶圆切割过程的相关工艺参数变化曲线；通过与工厂现有加工工艺的线锯切割试验比较，证实本文所提出的线锯切割新构想能有效地提高晶圆切割质量。
来源：2020年第11期
《机械工程学报》期刊编辑部
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