机械工程学报

作者：张鹏程, 温秋玲, 姜峰, 沈少鑫, 陆静

单位：1. 华侨大学制造工程研究院 厦门 361021;2. 华侨大学信息科学与工程学院 厦门 361021

关键词：纳米孔阵列,阳极氧化法,激光制孔,聚焦离子束加工,电子束加工,图形复制技术；

基金：国家自然科学基金青年科学基金（51805176）、华侨大学中青年教师科技创新资助计划（ZQN-PY601）、福建省高校新世纪优秀人才支持计划和华侨大学研究生科研创新基金（17013080044）资助项目。

纳米孔阵列在生物检测、传感器、发光器件、光学调制和新能源等领域具有重要的应用。综述了目前几种主流的纳米孔阵列加工技术的基本原理、研究进展、加工效率、加工精度、加工质量、适用范围，并比较了这几种加工方法各自的优势及其局限性。最后指出了纳米孔阵列加工技术当前所面临的挑战和今后的发展方向，以期为大面积纳米孔阵列的高效率、高精度、高质量、低成本制造提供新思路。

来源：2020年第9期

《机械工程学报》期刊编辑部

查看机械工程学报杂志2020年第9期