机械工程学报

作者：施晨淳, 王振忠, 彭云峰, 李陈磊, 孔刘伟

单位：厦门大学机电工程系 厦门 361005

关键词：液体静压导轨,运动精度,PM流量控制器,运动误差；

基金：国家科技重大专项资助项目（2017ZX04022001-207）。

液体静压导轨在超精密机床中广泛应用，其运动误差直接影响被加工件表面精度，因此，针对液体静压导轨运动精度的研究并不少见。然而，上述研究涉及的建模方法都具有一定的简化处理，并且少有考虑恒压式液体静压导轨中关键元件节流器的影响作用。基于运动学理论，直接建立四油垫闭式液体静压导轨准静态理论模型，研究PM流量控制器参数对运动精度的影响。分析表明，该节流器三个关键参数不影响运动误差曲线波峰波谷的出现位置，但会影响运动误差的波动程度和PV值。通过油膜反力波动分析可以解释运动误差变化机理，油膜反力波动越剧烈，运动误差变化也越显著。相对于其他两个参数比流量Kr和供油压力Ps，初始流量Q0对运动精度的影响较为显著。研究工作旨在为PM流量控制器关键参数的选取提供理论参考。

来源：2020年第1期

《机械工程学报》期刊编辑部

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