机械工程学报

作者：吴春亚, 郭闯强, 裴旭东, 王廷章, 陈妮, 陈明君

单位：1. 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室 哈尔滨 150080;；2. 哈尔滨工业大学机电工程学院 哈尔滨 150080;；3. 南京航空航天大学机电学院 南京 210016

关键词：电真空器件,慢波结构,太赫兹波,微细加工；

基金：“十三五”装备预研共用技术、国家重点研发计划（2017YFB0305903）和国家自然科学基金创新研究群体科学基金（51521003）资助项目。

太赫兹波兼具穿透性强、使用安全性高、定向性好、带宽高等技术特性，在国防、深空通信、远程成像、安全检查和医疗诊断等领域具有重大应用前景。基于慢波结构的电真空器件是在太赫兹频段产生瓦级功率输出，同时实现太赫兹辐射源小型化和经济化最具潜力的一种解决方式。慢波结构作为此类电真空器件的核心零件，其物理设计及制造水平将直接影响器件的带宽和增益，因此，从适合工作在太赫兹频段的慢波结构类型、加工精度与表面质量要求，以及制备工艺3个方面出发，对慢波结构的微细加工技术研究现状进行综述，重点分析太赫兹频段慢波结构的关键制造技术水平及应用现状，并探讨其在发展过程中需要面临的挑战和仍需注重解决的问题，希望能为后续高频器件研究工作的推进提供参考。

来源：2019年第7期

《机械工程学报》期刊编辑部

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